Wide temperature range
Ultra miniaturization
Ultra low jitter
High stability
Ultra-high frequency
Product Details
规格7.5X1.5
微小型全石英振梁加速度计振梁
1 外形尺寸
2 芯片的阻抗特性
3 电极绝缘电阻
采用绝缘电阻仪测量两电极间的绝缘电阻，要求绝缘电阻（50V，＞1TΩ）
4 芯片材料
4.1 芯片的基材：Z切石英晶片；
4.2 石英晶片的晶向：（zyw）0°，切角公差：±5’；
4.3 Q值：300万以上（A级）；
4.4 包裹体密度：Ia级 无籽晶；
4.5 隧道密度：小于10条/cm(1级)；
4.6 石英晶片为双面抛光，无亮点、麻点等缺陷；
4.7 电极薄膜的材料：Cr/Au双层薄膜，纯度：99.99%，其中底层Cr膜的厚度为（30±5）nm，顶层Au膜厚度为≥200nm。
规格如有更改，恕不另行通知。
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